深度冷冻法分离空气制取高纯氛，用于电子管、特种灯泡、真空技术等方面。以深度冷冻法分离空气制取高纯氛（＞四．op％）的工艺过程目前已十分成熟，特别是第六代空分设备实现了全精馏无氢制氮新工艺，使氛产品纯度更高，生产更稳定、更安全。高纯氛生产过程中，如何来监控其纯度呢？由于氛是惰性气体、纯度又极高，所以要想直接测定其纯度是很难的。六氟化硫