特种气体是由两大类气体组成的。一类为单元高纯气体,另一类为混合气体。对于单元高纯气体,根据现已收集到的文献,汇总起来共有227种,可分成五个类别: 一、电子气体,共85种(序号1～85),占总数的36.3％; 二、有机气体,共61种(序号86～146),占总数的27.8％; 三、无机气体,共35种(序号147～181),占总数的15.5％;